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双光子光刻胶

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聚合物杂化双色光敏光刻胶系列扮演着关键的角色，作为实现高精度边缘光抑制光刻的介质和载体，直接决定了光刻的准确性和质量。传统的双色光敏光刻胶存在多个问题，包括力学强度不足、光敏性不够、高体积收缩率以及折射率与光学系统不匹配等。相较之下，聚合物杂化的双色光敏光刻胶体系，其力学强度增强并体积收缩减少。同时，通过优化树脂配方设计和深入研究双色光敏性机制，我们成功获得了具有高效双色光敏性的折射率匹配光刻胶体系，为高精度光刻提供了更可靠的解决方案。

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产品说明

边缘光抑制（PPI）超分辨光刻胶
聚合物杂化双色光敏光刻胶系列扮演着关键的角色，作为实现高精度边缘光抑制光刻的介质和载体，直接决定了光刻的准确性和质量。传统的双色光敏光刻胶存在多个问题，包括力学强度不足、光敏性不够、高体积收缩率以及折射率与光学系统不匹配等。相较之下，聚合物杂化的双色光敏光刻胶体系，其力学强度增强并体积收缩减少。同时，通过优化树脂配方设计和深入研究双色光敏性机制，我们成功获得了具有高效双色光敏性的折射率匹配光刻胶体系，为高精度光刻提供了更可靠的解决方案。

参数表格

Photoresists	CD(nm)	refractive index	Wavelength nm/ mode	Applcation	Sensitiwity mJ/cm2	Themal stability	plasma etch resistance	Optical transmittance
Ref. IP-dIp	＞150	1.52	780/ DIP-IN	PPI 3D	10	★	★	★
TPP-1.52N	150	1.52	517-800/ DIP-IN	PPI 3D	8	★★	★★	★★
TPP-1.52S	100	1.52	517-800/ DIP-IN	PPI 3D	6	★★	★★	★★
TPP-1.52C	100	1.56	517-800/ DIP-IN	TPP 3D Optical	25	★★	★★	★★★
TPP-1.52V	180	1.56	517-800/ DIP-IN	TPP 3D Optical	20	★★	★★	★★★
TPP-1.48N	50	1.48	517-800/ OIL	PPI 3D	35	★★★	★★	★
TPP-1.52N	50	1.52	517-800/ DIP-IN	PPI 3D	7	★★	★★	★★
TPP-1.52S	30	1.52	517-800/ DIP-IN	PPI 3D	5	★★	★★	★★
Ref. SU-8 2000	500	Soild	＜350nm	2D	240-600	★★	★★	★★
Ref. AZ 1500	500	Soild	310-450nm	2D	80-130	★★	★★★	★★
TPP-sEO	100	Soild	517-800/ OILAIR	2D	18	★★	★	★
TPP-SCAB	80	Soild	517-800/ OILAIR	2D	6	★★	★★★	★★
TPP-sZn	50	Soild	517-800/ OILAIR	2D	53	★	★★	★★

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