桌面级无掩模光刻设备

系统参数
最小线宽	≥800nm
加工面积	≤80mm*80mm
灰度等级	≤512阶
最小表面粗糙度	≤30nm
扫描速度	≤100mm/s*通道数
基台尺寸	≥2inch

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参数规格

• 公里级直写光纤光栅加工模块
• 多芯光纤加工模块
• 光纤端面加工模块
• 高精度纤芯对准系统
• 高精度振镜三维扫描系统（光刻胶加工模块）
• 固体材料加工系统（改性、减材加工模块）
• 折射率表征模块
• 跟焦模块
• 光刻胶加工模块
• 脚本化语言＋3.0 版本用户软件体系：加工软件一套、刻写软件一套

产品说明

• 高精度、多模式飞秒直写加工，支持打点加工、扫线加工、面扫加工、特殊路线规划加工（向用户开放脚本化编程界面以规划加工路径）。
• 自动智能对准、找芯，支持多芯光纤加工。
• 配备气浮轴承位移台、收放纤系统联动加工。收放纤系统支持公里级长度加工。
• 智能光束整形，调制加工光斑形状、数量。
• 整合折射率表征系统，加工、表征一体化。
• 选配振镜、焦面跟踪等子模块，加工方式与加工对象更加多样化。
• 一体化整机、设备自带气浮支撑装置。

设备原理介绍

该设备配备了更高功率的飞秒激光器作为光源，单脉冲最大输出能量达10微焦。激光输出的脉冲序列精确可调，可实现加工空间中任意位置的脉冲计数加工。系统中还配备了具备水冷降温的空间光调制器用于对强激光矫正相差，以适应多种不同折射率材料和不同折射率分布情况的加工需求。同时，空间光调整器还可以用于整形光斑，以实现直写线加工、直写面加工、多交点加工等多样化的工作模式。

该系统对固体材料飞秒加工中的两大难点：光纤光栅加工和透明固体材料波导加工分别作出了针对性优化。对于光纤光栅加工，系统配备了高精度自动对准装置，保证将加工聚焦光斑快速对准纤芯。可适用于单模单芯光纤、多模光纤、单模多芯光纤等多种光纤加工。配合高精度公里级光纤自动加工模块，可以实现公里级光纤加工。对于透明晶体中的波导加工，系统具备针对波导形状的三维加工路线规划能力，可以按任意空间路径进行三维加工。同时，在系统中整合了相衬显微功能，可以在晶体加工完成后就进行材料折射率变化表征，解决了透明材料加工结果难以评估的问题。

通用参数

系统参数
飞秒激光器	1.脉冲能量：≥0.01mJ@1MHz
	2.平均功率：10W@1MHz
	3.脉冲宽度＜300fs
	4.重复频率1Hz～1MHz
	5.加工光束中心波长517nm
高精度位移台	1.六维度可操控（X、Y、Z、θX、θY、θZ）
	2.平移行程100mm×100mm×20mm
	3.平移重复定位精度±75nm
	4.旋转重复定位精度≤0.001°
高精度公里级光纤自动加工模块	1.适合光纤直径范围100-250μm
高精度公里级光纤自动加工模块	2.最大送纤速度50m/mim
镜头	支持20X、50X、60X、100X多种物镜倍率加工
加工特性	1.晶体表面加工线宽小于200nm
	2.光纤光栅加工单光栅最大加工长度15mm
	3.光栅加工周期小于1μm
选配模块	1.空间光调制器
	2.折射率表征模块
	3.高速扫描振镜
	4.高精度焦面自动跟踪模块
	5.聚合物材料光刻系统
软件配置	1.支持多种加工图形导入
	2.软件支持结构设计、脚本化编程
	3.针对光纤光栅刻写加工，支持逐点扫描法、逐线扫描法、变迹扫描法、多芯并行扫描法等多种加工方法
	4.支持纤芯自动识别、对准、调角