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固体材料加工

产品型号：

FSM-BASIC

高精度飞秒激光加工设备介绍

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固体材料加工FSM-BASIC

  1. 材料表面减材如工
  2. 材料表面/内部改性加工
  3. 波导直写加工

系统参数

FSM-BASIC

飞秒激光光源
  1. 脉冲能量：≥10μJ；
  2. 平均功率：≥10W@1MHz；
  3. 脉冲宽度：≤300fs；
  4. 重复频率：1Hz-1MHz可调；
  5. 加工光束中心波长：515nm（选配/增配1030nm）。

高精度位移台
  1. 三维度可操控（x、y、z）；
  2. 平移行程100mm×100mm×20mm；
  3. x、y、z轴绝对定位精度：≤±0.3μm；
  4. x、y、z轴双向重复定位精度：≤±0.1μm。

加工物镜
  1. 50× NA=0.80；
  2. 可选配其他参数物镜。

加工特性
  1. 晶体表面加工最小线宽100nm；
  2. 二维矢量划线加工。

软件
  1. 基础图形切片软件；
  2. 标准加工软件。

定制化功能

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请具体与工程师沟通咨询

  1. 环境洁净要求：千级以上洁净间；
  2. 环境振动要求：VC-C及以上；
  3. 环境温度/湿度要求：22℃±1℃，湿度50%-60%；
  4. 环境照明要求：黄光灯照明；
  5. 压缩空气要求：气压0.5-0.8MPa，流量100-200L/min；
  6. 电气安装条件：220V，＞8000W；

承重条件：800kg/m2。

 

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