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附加功能模块

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FSM-OEM

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附加功能模块FSM-OEM

  1. 焦面自动跟踪
  2. 空间光调制器相位调制
  3. 材料折射率表征
  4. 脚本化加工编程
  5. 共焦扫描成像

系统参数

FSM-OEM

飞秒激光光源
  1. 脉冲能量：≥10μJ；
  2. 平均功率：≥10W@1MHz；
  3. 脉冲宽度：≤300fs；
  4. 重复频率：1Hz-1MHz可调；
  5. 加工光束中心波长：515nm（选配/增配1030nm）；
  6. 可增配高重频飞秒光源，中心波长：515nm，重频80Mhz。

高精度位移台
  1. 六维度可操控（x、y、z、θx、θy、θz）；
  2. 平移行程100mm×100mm×20mm；
  3. x、y、z轴绝对定位精度：≤±0.3μm；
  4. x、y、z轴双向重复定位精度：≤±0.1μm。
  5. 物镜压电位移器：分辨率小于5nm。

加工物镜
  1. 60× NA=1.42；
  1. 50× NA=0.80；
  1. 可选配其他参数物镜。

加工特性
  1. 晶体表面加工最小线宽100nm；
  2. 三维矢量划线加工；
  3. 支持光纤光栅加工最小周期≤1μm；
  4. 单光栅最大加工长度15mm；
  5. 多光子聚合加工最小横向线宽50nm。

软件
  1. 基础图形切片软件；
  2. 标准加工软件；
  3. 光栅打点加工、扫线加工、变迹加工、多芯光纤加工；
  4. 光纤自动调平、对准软件；
  5. 光纤切趾加工软件；
  6. 选配卷纤机加工控制软件。
  7. 脚本编辑加工。

定制化功能
  1. 多种夹具定制；
  2. 卷纤机；
  3. 高速扫描振镜；
  4. 自动跟焦装置；
  5. 空间光调制器；
  6. 折射率表征模块：
  7. 共焦扫描成像。

请具体与工程师沟通咨询

  1. 环境洁净要求：千级以上洁净间；
  2. 环境振动要求：VC-C及以上；
  3. 环境温度/湿度要求：22℃±1℃，湿度50%-60%；
  4. 环境照明要求：黄光灯照明；
  5. 压缩空气要求：气压0.5-0.8MPa，流量100-200L/min；
  6. 电气安装条件：220V，＞8000W；

承重条件：800kg/m2。

 

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